Системы катодолюминесценции

В процессе взаимодействия электронного пучка с материалом образца образуются, в том числе, электронно-дырочные пары, которые при рекомбинации излучают фотоны в ультрафиолетовом, видимом или инфракрасном диапазоне. Это явление получило название катодолюминесценции (КЛ). Вышеупомянутые фотоны несут в себе множество полезной для исследователя информации - об элементном и фазовом составе образца, его электронно-оптических свойствах, наличии и характере дефектов в кристаллической решетке.

Спектрометр катодолюминесценции – оптический прибор, который встраивается в камеру РЭМ и позволяет получать не только картины катодолюминесценции, но проводить анализ спектра. Диаметр области анализа при этом составляет от 100 нм до нескольких мм.

Катодолюминесцентная спектроскопия широко используется в геологии для анализа зональных минералов, исследований природы окраски минералов, определения примесей малых концентраций (предел обнаружения в сотни и тысячи раз лучше, чем в традиционных рентгеновских методах). В полупроводниковой отрасли спектр решаемых с ее помощью задач очень широк: это определение состава и количества примесей, картирование дефектных областей полупроводника, определение подвижности и времен жизни носителей заряда, оценка эффективных сечений захвата носителей заряда примесями и дефектами кристаллической решетки. Ювелиры используют спектрометры катодолюминесценции для идентификации драгоценных камней и оценки их качества. Метод локальной катодолюминесценции используется также в физике металлов (излучение Лилиенфельда), в химии (исследования различных полимеров, синтетических тканей, ракетных топлив и т.п.). Также, по мере развития технических средств, все больше и больше применений метод КЛ находит в исследованиях биологических объектов (например, локализация гербицидов в листьях растений, прохождение различных веществ по их корневой системе; кальцинирование различных частей кровеносной системы человека).

Своим заказчикам компания «Токио Боэки» предлагает различные системы катодолюминесценции производства ведущих мировых компаний, в том числе JEOL Ltd. (Япония), Gatan Inc. (США) и Deben UK Ltd. (Великобритания). Все эти системы сопрягаются с растровыми электронными микроскопами JEOL и прекрасно себя зарекомендовали. Они отличаются превосходными техническими характеристиками, удобным пользовательским интерфейсом и высокой надежностью.