| Модуль |
Выполняемые функции |
| Spectrum |
Регистрация спектров, идентификация элементов |
| Quant |
Автоматический бесстандартный анализ |
| EQuant |
Расширенный анализ спектров |
| UQuant |
Определяемые пользователем методы количественного анализа |
| TQuant |
Оптимизированные методы анализа по низкоэнергетическим линиям |
| HSQuant |
Комбинированный и Φ(ρ,z) бесстандартный анализ |
| CLQuant |
Количественный анализ Клиффа-Лоримера |
| SpecMatch |
Сравнение и поиск похожих спектров |
| SEMLink |
Обмен данными с микроскопом |
| Scan |
Получение изображений |
| ColorScan |
Получение цветных изображений на основе рентгеновских спектров |
| Vision |
Обработка цифровых изображений |
| ImageStitch |
Автоматическая сшивка перекрывающихся изображений |
| MultiPoint |
Автоматический анализ в нескольких точках |
| Line |
Сбор спектров вдоль линии |
| QLine |
Количественный анализ вдоль линии |
| Map |
Сверхвысокоскоростное цифровое картирование |
| QMap |
Построение карт распределения элементов на основе результатов количественного анализа |
| HyperMap |
Картирование с использованием расширенной спектральной базы данных |
| MaxSpec |
Определение концентраций примесей на основе HyperMap |
| AutoPhase |
Автоматический фазовый анализ |
| Feature |
Анализ включений |
| DriftCorr |
Компенсация дрейфа луча |
| StageControl |
Управление моторизованным столиком |
| Jobs |
Автоматическое выполнение последовательностей задач |
| Project |
Система управления и обработки данных |
| TChart |
Построение гистограмм, двойных и тройных диаграмм |
| Report |
Представление результатов и создание отчетов |
| User |
Создание и администрирование многопользовательской системы |
| LAN |
Создание и администрирование системы «клиент-сервер» |
| Support |
Техническая поддержка оператора и удаленное администрирование |
| EMSA |
Импорт и экспорт спектров в формате EMSA |