| |
|
I |
II |
III |
IV |
V |
Примечания |
| Операционная система |
OS Microsoft® Windows® XP или более поздняя версия, многопользовательская |
|
| Язык меню |
английский |
|
| Детектор |
Кремний-дрейфовый |
|
| Спектральный ЭДС-анализ |
Качественный/количественный анализ (ZAF, тонких пленок) |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
|
| Визуализация и идентификация пиков |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
|
| Анализ тонких пленок |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
|
| Определение типа химического соединения, Q base (сопоставление спектров) |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
|
| Отображение скорости счета и «мертвого времени» |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
|
| Создание отчетов |
Создание отчета «в один клик» |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
|
| Программа SMile View™ |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
|
| Экспорт результатов в Microsoft® Word и PowerPoint® |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
|
| Интеграция |
Автоматический мониторинг условий работы микроскопа (увеличения, ускоряющего напряжения и положения столика образцов) |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
1 |
| Мониторинг величины рабочего отрезка |
|
⚫ |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
2 |
| Инициация анализа из системы управления РЭМ |
|
⚫ |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
2 |
| Ассистент анализа |
Установка условий анализа в форме визарда |
|
⚫ |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
|
| Аналитическая станция |
Инициация анализа из системы управления ЭДС |
|
⚫ |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
|
| Анализ вдоль линии |
Анализ вдоль линии (в том числе количественный) |
|
⚫ |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
|
| Элементное картирование |
Элементное картирование |
|
⚫ |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
|
| Карты элементов высокого разрешения (4096 х3072 пикс.) |
|
⚫ |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
|
| Всплывающий спектр |
|
⚫ |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
|
| Количественные карты распределения элементов |
|
⚫ |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
|
| Карта неучтенных элементов |
|
⚫ |
⚫ |
⚫ |
⚫ |
|
| Элементное картирование нескольких областей |
Графическое отображение пятна анализа, навигация, автоматический последовательный анализ, поточечная навигация, архивация данных |
|
|
⚫ |
⚫ |
⚫ |
3 |
| Автоматический последовательный анализ нескольких областей |
Автоматический монтаж (РЭМ-изображение, карты распределения элементов) |
|
|
⚫ |
|
⚫ |
3 |
| Автоматическое получение карт распределения элементов на нескольких участках образца |
|
|
⚫ |
|
⚫ |
3 |
| Программное обеспечение для анализа частиц |
Анализ частиц (вручную и автоматический) |
|
|
|
⚫ |
⚫ |
|
| Статистический анализ (диаметр частиц, площадь и т.п.) |
|
|
|
⚫ |
⚫ |
|
| Последовательный анализ частиц и ЭДС анализ нескольких площадей |
|
|
|
|
⚫ |
4 |
| Программа Particle Finder |
|
|
|
|
⚫ |
4 |
| Ручной просмотр |
|
|
|
|
⚫ |
4 |
| Анализ продуктов выстрела |
Автоматический анализ продуктов выстрела |
|
|
|
|
⚫ |
4 5 |
| Количественный анализ PHI-RHO-Z |
Более точный анализ легких элементов |
⚪ |
⚪ |
⚪ |
⚪ |
⚪ |
|
| Стабилизация тока пучка |
Мониторинг тока пучка и поддержание его постоянным |
⚪ |
⚪ |
⚪ |
⚪ |
⚪ |
6 |
| Накопление пользовательских методик |
⚪ |
⚪ |
⚪ |
⚪ |
⚪ |
6 |
| Одна мышь на 2 ПК |
Одна мышь и клавиатура на два ПК (РЭМ и ЭДС) |
⚪ |
⚪ |
⚪ |
⚪ |
⚪ |
7 |
| Фазовый анализ |
Автоматический фазовый анализ |
|
⚪ |
⚪ |
⚪ |
⚪ |
|
| Анализ данных в оффлайн-режиме |
Лицензия на анализ в оффлайн-режиме |
⚪ |
⚪ |
⚪ |
⚪ |
⚪ |
|
1. Возможно при подключении ЭДС к ПК РЭМ.
2. Применимо к JCM-6000 и JSM-6X10A/LA
3. Применимо к РЭМ с моторизованным столиком образцов
4. Применимо к РЭМ с моторизованным столиком образцов по осям X, Y, Z
5. Требуется программный модуль для анализа остатков выстрела.
6. Требуется блок компенсации изменений тока пучка. В РЭМ моделей JSM-7100F/7500F/7610F этот блок встроен по умолчанию.
7. JCM-6000 и JSM-6X10A/LA не требуют этой опции.