Микро- и наноманипуляторы Gatan серии OmniProbe

Микроманипуляторы (наноманипуляторы) OmniProbe – устройства, предназначенные для выполнения тонких механических операций над образцами в камере растрового электронного или ионного микроскопа. Они позволяют:

• Проводить модификацию образцов в камере РЭМ или электронно-ионного микроскопа;
• Изготовлять образцы для просвечивающих электронных, атомно-силовых и зондовых микроскопов;
• Нейтрализовать электрический заряд на непроводящих и полупроводниковых образцах;
• Измерять электрические характеристики микро- и нанообъектов:

- удельное электрическое сопротивление (двух- или четырехконтактным методом);
- температурный коэффициент удельного электрического сопротивления;
- магнетосопротивление;
- коэффициент Холла;
- коэффициент Зеебека;
- индуцированный электронным пучком ток (EBIC).
• Создавать и испытывать в камере микроскопа различные микроэлектромеханические системы (MEMS).

OmniProbe 100

OmniProbe 100 – это надежный и недорогой манипулятор начального уровня. В нем реализована схема управления без обратной связи, позволяющая осуществлять субмикронные операции. OmniProbe 100 устанавливается на все растровые электронные микроскопы и двулучевые системы JEOL. Он монтируется в стандартный порт камеры образцов, всегда готов к работе и практически независим от режима работы микроскопа или положения столика образцов. Также этот наноманипулятор сочетает в себе пневматический выдвижной механизм и точный моторизованный механизм позиционирования, что позволяет легко менять насадки и быстро подводить их к поверхности образца. OmniProbe 100 не требует наличия персонального компьютера – все управление осуществляется с компактного выносного пульта.

OmniProbe 200

Манипулятор OmniProbe 200 на данный момент является самым распространенным наноманипулятором в мире. Его ключевыми особенностями являются:

• компьютеризованная система управления с обратной связью;
• перемещения по осям X, Y, Z c точностью позиционирования 100нм;
• опционально - вращение зонда вокруг собственной оси с точностью 0,1°
• возможность заточки наконечников зонда (в ионных системах) и манипулирования частями образца менее 20 нм;
• точное позиционирование на больших расстояниях;
• постоянный мониторинг положения зонда, даже когда он вне поля зрения;
• предсказуемость перемещений при установке в любой из портов микроскопа;
• запоминание положения зонда;
• автоматическая система защиты от столкновений зонда с образцом;
• встраиваемые в интерфейс микроскопа элементы управления пневматической системой выдвижения зонда;
• возможность подачи на кончик зонда напряжения смещения -10…+10 В для регистрации потенциального контраста или измерения электрических характеристик образцов.

OmniProbe 400

Наноманипулятор девятого поколения OmniProbe 400 обладает высочайшей в своем классе точностью позиционирования, благодаря использованию пьезоэлектрических актуаторов. Его ключевыми особенностями являются:

• компьютеризованная система управления с обратной связью;
• перемещения по осям X, Y, Z c точностью позиционирования 10 нм;
• вращение зонда вокруг собственной оси с точностью 0,1°
• возможность заточки и чистки наконечников зонда в ионных системах;
• точное позиционирование на больших расстояниях;
• постоянный мониторинг положения зонда, даже когда он вне поля зрения;
• предсказуемость перемещений при установке в любой из портов микроскопа;
• запоминание положения зонда;
• автоматическая система защиты от столкновений с образцом;
• возможность быстрой замены насадок внутри камеры микроскопа, без нарушения вакуума.