ПРОСВЕЧИВАЮЩАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ (ПЭМ)

JEM-1300
JEM-3200FSC
JEM-3200FS
JEM-ARM300F
JEM-ARM200F
JEM-2800
JEM-2200FS
JEM-2100F
JEM-2100 PLUS
JEM-1400 PLUS
JEM-F200

Просвечивающая электронная микроскопия (ПЭМ) предполагает изучение тонких образов с помощью пучка электронов, проходящих сквозь них и взаимодействующих с ними. Электроны прошедшие сквозь образец фокусируются на устройстве формирования изображения: флюоресцентном экране, фотопластинке или сенсоре ПЗС-камеры. Благодаря меньшей чем у света длине волны электронов ПЭМ позволяет изучать образцы с разрешением в десятки тысяч раз превосходящим разрешение самого совершенного светооптического микроскопа. С помощью ПЭМ возможно изучение объектов даже на атомарном уровне. ПЭМ является одним из основных методов исследования в целом ряде прикладных областей: физике, биологии, материаловедении и т.д.

На относительно малых увеличениях контраст на ПЭМ возникает из-за поглощения электронов материалом исследуемого образца. На высоких увеличениях сложное взаимодействие волн формирует изображение, требующее более сложной интерпретации.

Современные ПЭМ имеют режимы работы, позволяющие изучать элементный состав образцов, ориентацию кристаллов, фазовый сдвиг электронов и т.п.

ПЭМ всегда состоит из следующих основных частей: вакуумная система, источник электронов, серия электромагнитных линз, устройства формирования изображения, а также устройства для ввода, вывода и перемещения образца под электронным пучком. Электромагнитные линзы и пластины позволяют оператору манипулировать электронным пучком так, как требуется для того или иного режима работы, на устройстве формирования изображения получаются результирующие выходные данные.

Образцы, изучаемые в ПЭМ помещаются на сеточки диаметром 3 мм (внутренний диаметр около 2.5 мм). Сеточка крепится на столике и держателе, которые позволяют перемещать ее по нескольким осям. Таким образом, ПЭМ позволяет изучать только специально подготовленные к помещению в вакуум тонкие образцы небольшого размера. Специалисты говорят, что 50% успеха исследования в ПЭМ определяется качеством подготовки образца.

Современные ПЭМ позволяют работать в следующих основных режимах:

  • Светлое поле (контраст формируется за счет поглощения электронов образцом)
  • Темное поле (контраст в зависимости от атомного номера)
  • Дифракционный контраст (контраст вызванный рассеянием Брэгга, возникающим при попадании пучка в кристаллическую структуру)
  • Спектроскопия энергетических потерь электронов (измерение потери электроном начальной энергии после прохождения через образец), а также энергетическая фильтрация
  • Элементное картирование с помощью рентгеновского энергодисперсионного спектрометра
  • Изображение во вторичных электронах
  • Изображение в обратно-рассеянных электронах
  • Электронно-лучевая томография (объемное изображение образца)

Фирма TOKYO BOEKI занимается поставками просвечивающих электронных микроскопов мирового лидера в этой области—компании JEOL. Фирме JEOL принадлежит более 50% всего мирового рынка просвечивающих электронных микроскопов. Она представляет самую широкую линейку данного оборудования среди всех существующих производителей.

Основные модели просвечивающих электронных микроскопов JEOL

  JEM-1300 JEM-ARM300F JEM-3200FSC JEM-3200FS JEM-ARM200F JEM-2800 JEM-2200FS JEM-2100F JEM-2100 PLUS JEM-1400 PLUS
Основные параметры
Ускоряющее напряжение (кВ) 1300 300 300 300 200 200 200 200 200 120
Разрешение по точкам (нм) 0.12 0.063 0.20 0.17 0.11 0.2 0.19 0.19 0.194 0.38
Максимальное увеличение (тыс.крат) 1200 150000 1200 1500 150000 150000 1500 1500 1500 1200
Аналитические возможности
Омега-фильтр - -
- -
- - -
Энергетическая фильтрация
-
Спектроскопия энергетич. потерь
-
ЭДС-анализ
Томография
Крио-микроскопия
Возможные применения
Физика
Химия
Биология
Материаловедение
Медицина
Геология
Полупроводники

Обозначения:

- включено в базовый комплект
- рекомендовано к использованию (опционально)
- может быть использовано с ограничениями или после дополнительного согласования конфигурации
▬ - не может быть реализовано в данной модели