Растровые электронные микроскопы

Термоэмиссионные микроскопы:

JSM-IT510

JSM-IT210

JSM-7000

Микроскопы с полевой эмиссией:

JSM-IT810

JSM-IT710HR

JIB-PS500i

JIB 4700F

Растровая электронная микроскопия (РЭМ) позволяет проводить изучение микроморфологии и тонкой структуры поверхности массивных образов с помощью сфокусированного электронного пучка, сканирующего поверхность образца. Некоторые модели РЭМ также имеют режим работы на просвет, таким образом «залезая» на традиционное поле просвечивающих электронный микроскопов, хотя и с ограниченными возможностями.

Благодаря меньшей, чем у света, длине волны электронов, растровый (сканирующий) электронный микроскоп позволяет изучать образцы с разрешением, в десять тысяч раз превосходящим разрешение самого совершенного светооптического микроскопа, поэтому с помощью РЭМ возможно изучение объектов нанометровых размеров.

Конструктивно РЭМ состоит из следующих основных частей: вакуумная система, электронно-оптическая колонна, источник электронов, блок электромагнитных линз, устройство формирования изображения, а также устройства для ввода, вывода и перемещения образца под электронным пучком. Пучок электронов падает на поверхность образца, взаимодействуя с веществом. Возникающие при этом отраженные и вторичные электроны, а также фотоны регистрируются соответствующими детекторами.

Современные РЭМ позволяют изучать как проводящие, так и непроводящие образцы, а оснащение микроскопа аналитическими приставками значительно расширяет возможности метода.

Растровая электронная микроскопия используется практически во всех областях науки и производства, исключая разве что филологию: в физике, биологии, материаловедении, химии, геологии, экологии, археологии, криминалистике и т.д., позволяя:

• анализировать микро- и наноморфологию поверхности образцов;
• изучать структуру, текстуру и разориентацию микрокристаллов;
• исследовать распределение фаз в образце;
• проводить качественный и количественный элементный анализ в точке, вдоль линии и по площади;
• строить карты распределения элементов по выбранной площади образца;
• исследовать структуры образцов под действием механических нагрузок – растяжения и сжатия;
• исследовать структуры образцов при нагреве или охлаждении;
• изучать катодолюминесценцию;
• исследовать токи, индуцированные в образцах электронным пучком;
• проводить электронно-лучевую литографию.

Компания TOKYO BOEKI поставляет самую широкую линейку растровых электронных микроскопов мирового лидера в этой области—компании JEOL Ltd. (Япония). Надежность и прекрасные технические параметры оборудования – вот отличительные особенности микроскопов JEOL в течение более, чем 65 лет производства.

ОСНОВНЫЕ МОДЕЛИ РАСТРОВЫХ ЭЛЕКТРОННЫХ МИКРОСКОПОВ JEOL