Электронно-лучевая литография

JBX-8100FS

Компания JEOL разработала уникальную электронно-лучевую литографическую систему JBX-8100FS для проведения исследований, разработок и производства полупроводниковых приборов, которая позволяет выполнять экспонирование рисунка с высоким разрешением, точностью сшивки и совмещения структур, одновременно сохраняя большую производительность всей системы

JBX-9500FS

JBX-9500FS представляет собой систему электронно-лучевой литографии с ускоряющим напряжением на 100 кВ, которая обеспечивает самую высокую в мире производительностью и точность позиционирования среди систем с точечной лучевой литографией