МИКРОАНАЛИЗ

На колонну электронного микроскопа можно устанавливать различные приставки, которые позволяют проводить локальный элементный, фазовый, структурный анализ, а также другие виды анализов. Эти приставки различают по типу регистрируемого сигнала и детектору.

В зависимости от эффектов взаимодействия падающего пучка электронов с образцом выделяют детекторы: вторичных и отраженных электронов, Оже- и фотоэлектронов, ИК фотонов, видимого, ультрафиолетового и рентгеновского диапазонов. Вторичные электроны, исходящие от образца, несут в себе информацию о морфологии его поверхности; отраженные электроны пучка - об однородности образца и его кристаллической структуре. Рентгеновские кванты позволяют проводить качественный и количественный анализ элементного и фазового состава образца. Регистрируя спектр фотонов ИК, видимого и ультрафиолетового диапазона, можно изучать фононные моды и электронно-оптические свойства вещества. Таким образом, электронный микроскоп, дооснащенный соответствующими приставками, превращается в мощный исследовательский комплекс, позволяющий изучать не только особенности морфологии образцов, но и их физико-химические свойства.

В данном разделе представлены только те детекторы, которые устанавливаются на колонну растровых или просвечивающих электронных микроскопов: системы энергодисперсионного анализа (ЭДС), спектрометры с дисперсией по длинам волн (ВДС), дететкторы дифракции отраженных электронов, детекторы и спектрометры катодолюминесценции, спектрометры характеристических потерь энергии электронов (СХПЭ), наноманипуляторы и т.д.

В зависимости от потребностей заказчика, ООО «Токио Боэки (РУС)» оснащает поставляемые электронные микроскопы различными системами микроанализа ведущих мировых производителей: JEOL Ltd., OXFORD Instruments NanoAnalysis Ltd., Bruker Co., Gatan Inc., Horiba, Renishow и др.