МИКРОАНАЛИЗ

Системы энергодисперсионного анализа (ЭДС)

Системы анализа с диперсией по длинам волн (ВДС)

Системы дифракции обратно рассеянных электронов (ДОРЭ)

Системы катодолюминесценции

Спектрометры характер. потерь энергии электронов (СХПЭ)

Спектрометры комбинационного рассеяния света (КРС)

Системы рентгеновского флуоресцентного микроанализа

Наноманипуляторы

Спектрометры мягкого рентгеновского излучения

На колонну электронного микроскопа можно устанавливать различные приставки, которые позволяют проводить локальный элементный, фазовый, структурный анализ, а также другие виды анализов. Эти приставки различают по типу регистрируемого сигнала и детектору.

В зависимости от эффектов взаимодействия падающего пучка электронов с образцом выделяют детекторы: вторичных и отраженных электронов, Оже- и фотоэлектронов, ИК фотонов, видимого, ультрафиолетового и рентгеновского диапазонов. Вторичные электроны, исходящие от образца, несут в себе информацию о морфологии его поверхности; отраженные электроны пучка - об однородности образца и его кристаллической структуре. Рентгеновские кванты позволяют проводить качественный и количественный анализ элементного и фазового состава образца. Регистрируя спектр фотонов ИК, видимого и ультрафиолетового диапазона, можно изучать фононные моды и электронно-оптические свойства вещества. Таким образом, электронный микроскоп, дооснащенный соответствующими приставками, превращается в мощный исследовательский комплекс, позволяющий изучать не только особенности морфологии образцов, но и их физико-химические свойства.

В данном разделе представлены только те детекторы, которые устанавливаются на колонну растровых или просвечивающих электронных микроскопов: системы энергодисперсионного анализа (ЭДС), спектрометры с дисперсией по длинам волн (ВДС), дететкторы дифракции отраженных электронов, детекторы и спектрометры катодолюминесценции, спектрометры характеристических потерь энергии электронов (СХПЭ), наноманипуляторы и т.д.

В зависимости от потребностей заказчика, ООО «Токио Боэки (РУС)» оснащает поставляемые электронные микроскопы различными системами микроанализа ведущих мировых производителей: JEOL Ltd., OXFORD Instruments NanoAnalysis Ltd., Bruker Co., Gatan Inc., Horiba, Renishow и др.