• OXFORD INCA Wave
  • Технические характеристики
  • Фотогалерея

ВДС OXFORD INCA Wave

Система микроанализа с дисперсией по длинам волн INCA Wave компании OXFORD Instruments прекрасно известна специалистам. Данный спектрометр устанавливается на растровые электронные микроскопы и позволяет добиваться на РЭМ точности, сравнимой с точностью электронно-зондового микроанализатора.

Основные параметры ВДС OXFORD INCA Wave:

  • Точная автоматическая идентификация пиков;
  • Точный количественный анализ элементов во всем диапазоне концентраций, в том числе с концентрациями ниже 500 ppm;
  • Превосходное энергетическое разрешение (менее 10 эВ), что позволяет разделять близко расположенные пики, которые невозможно разделить на ЭДС (сера/молибден и т.п.);
  • Высокая чувствительность (< 0,1 - <0,01%) в определении элементов-примесей (более, чем на порядок лучше, чем у ЭДС);
  • Наилучшая чувствительность для анализа легких элементов;
  • Картирование с наилучшим отношением пик/фон;
  • Относительно низкая чувствительность к изменению рабочего расстояния (возможность анализа рельефных образцов);
  • Широкий выбор кристалл-анализаторов;
  • Полностью автоматизированная калибровка кристалл-анализаторов;
  • Автоматический мониторинг тока электронного пучка через удобный графический интерфейс;
  • Полная автоматизация управления всеми процедурами (смена кристаллов, поиск пиков, оптимизация положения и ширины приемной щели детектора для каждой линии, установка скорости и шага сканирования и т.п.);
  • XPP-метод для коррекции матричных эффектов при проведении количественного микроанализа;
  • Простая и интуитивно понятная система навигаторов: «Анализатор» – для регистрации спектров и проведения качественного и количественного анализа; «Стандартизация» – для работы со стандартными образцами и калибровки спектрометра;
  • Автоматический коллиматор для совместной работы ЭДС и ВДС;
  • Полная интеграция программного обеспечения ВДС с энергодисперсионной системой Aztec/INCA Energy.