Тип напыления |
Распыление в вакууме |
Рабочее давление |
20 Па |
Предельное давление |
3 Па (откачка камеры без образца в течение 10 минут) |
Тип электрода |
Углеродный стержень высокой чистоты |
Диаметр предметного столика |
64мм |
Расстояние от источника распыления до предметного столика |
135-160мм |
Время откачки до рабочего давления |
Не более 30 секунд |
Система откачки |
Прямоприводный ротационный насос производительностью 135л/мин. со встроенной защитой от перегрева |
Сеть |
Одна фаза, 100В, 50/60Гц, 1,4кВА |
Температура воздуха |
25 ± 5°С |
Влажность воздуха |
до 60% (без конденсации влаги) |
Размеры блоков (Ш * Г * В) |
350мм * 420мм * 440мм (основной блок) 170мм * 488мм * 250мм (ротационный насос) |
Массы блоков |
18 кг (основной блок) 27 кг (ротационный насос) |
Основные опции |
Столик для вращения и наклона образцов в процессе напыления EC-30030RTS
Измеритель толщины напылений MTM-10
Понижающий трансформатор |