Тип напыления: |
Магнетронный |
Рабочее давление |
Не более 20 Pa |
Ионный ток |
Предустановленные значения 10, 20, 30, 40 мА |
Мишень |
Pt (стандарт), диаметр 57 мм |
Столик для образцов |
диаметр 64мм |
Вакуумная камера |
120мм (диаметр)х 100мм (высота), стеклянный колпак |
Измерение уровня вакуума |
С цифровым дисплеем, измерение с помощью датчика Пирани |
Таймер |
С цифровым дисплеем, отсчет от 1 до 300сек |
Управление потоком газа |
Встроено |
Функция продувки аргоном |
Встроена (автоматический и ручной режимы) |
Схема безопасности высокого напряжения |
Встроена |
Система откачки |
Ротационный насос с прямым приводом, 100л/мин |
Сеть |
Одна фаза, 100В, 50Гц, 300ВА |
Температура окружающей среды |
25 ± 5°С |
Размеры блоков |
300мм хм380мм х 290мм (основной блок)
225мм х 525мм х 320мм (ротационный насос)
|
Массы блоков |
11 кг (основной блок)
23 кг (ротационный насос)
|
Основные опции |
Столик для вращения и наклона образцов при напылении EC-30020RTS Понижающий трансформатор SDT-05
|