- На главную ->
- Приборы ->
- Растровые микроскопы ->
- Микроскопы с полевой эмиссией ->
- JEOL JIB 4700F
- JIB-4700F
- Технические характеристики
JEOL JIB-4700F
JIB-4700F – это двулучевая система, представляющая собой термополевой растровый электронный микроскоп высокого разрешения, оснащенный мощной ионной пушкой. Прибор может одновременно быть использован и в режиме РЭМ, и в режиме ионного микроскопа или системы ионного травления.
Стабильная, надежная электронно-оптическая колонна обеспечивает высокое разрешение (1,2 нм при 15 кВ в режиме регистрации вторичных электронов) и позволяет анализировать морфологию объектов наномира. Термополевой катод обеспечивает высокие и стабильные токи пучка, что делает возможным проведение элементного анализа с использованием спектрометра с волновой дисперсией, получения картин дифракции отраженных электронов, катодолюминесцентных исследований и т.п. Режим торможения пучка над поверхностью образца делает JIB-4700F прекрасным инструментом для работы с диэлектриками или чувствительными к воздействию электронного луча образцами.
Ионная колонна JIB-4700F сконструирована компанией JEOL специально для систем такого класса. Она отличается высокой надежностью, обеспечивает высокое разрешение изображений при работе в режиме наблюдения и высокие токи пучка (до 90 нА) при работе в режиме травления.
Помимо всех типов исследований, традиционно проводимых с помощью РЭМ, JIB-4700F позволяет обрабатывать ионами и утонять образцы, предназначенные для дальнейших исследований методами растровой и просвечивающей электронной микроскопии, проверять их качество. После проверки и/или обработки образцов в JIB-4700F, их можно переносить в ПЭМ или РЭМ напрямую, не демонтируя с держателей, а значит, не подвергая риску повреждений.
JIB-4700F штатно комплектуется шлюзовой камерой, которая существенно снижает время замены образца, уменьшает загрязнение камеры образцов, нивелирует риск повреждения аналитических приставок из-за резких перепадов давления, существенно продлевает срок службы эмиттеров и диафрагм обеих колонн.
Двухлучевую систему JIB-4700F можно дооснастить множеством разнообразных приставок. Они позволяют проводить напыление углеродом, вольфрамом и платиной, проводить ионное травление по заданному шаблону (ионную литографию), работать с держателями электронных микроскопов и микроанализаторов, даже старых моделей. Подключение таких опций как энергодисперсионный спектрометр и детектор дифракции отраженных электронов позволяет проводить послойный анализ элементного и фазового состава образцов.
Использование наноманипуляторов Omniprobe дает возможность проводить следующие операции в вакуумированной камере образцов прибора:
• Перемещать образцы с точностью до нескольких нанометров;
• Выкладывать из наночастиц и нановолокон узоры заданной формы;
• Измерять электрические параметры различных нанообъектов;
• Рассматривать с различных ракурсов тонкие кристаллы, приготовленные для дальнейших исследований в ПЭМ;
• Снимать заряд с непроводящих образцов;
• Производить микроразрезы в биологических образцах;
• Отделять малые образцы от массива для проведения более точного микроанализа их элементного и фазового состава.
Основные конструктивные особенности:
• Стабильная, высоконадежная электронно-оптическая колонна обеспечивает высокое разрешение (1,2 нм при 15 кВ в режиме регистрации вторичных электронов);
• Уникальная по своему устройству электронная пушка с катодом Шоттки обеспечивает высокие (свыше 300 нА) и стабильные токи пучка, что позволяет использовать JIB-4700F и в качестве аналитического РЭМ;
• Специальная конструкция первой конденсорной линзы позволяет намного более эффективно собирать эмитированные катодом электроны и обеспечивает длительный срок службы электронной пушки (более 3 лет);
• Стабильная, надежная, высокопроизводительная ионная колонна специальной конструкции, позволяющая в режиме травления быстро стравливать большие объемы материала, а в режиме наблюдения обеспечивающая высокое разрешение получаемых микрофотографий (4 нм с использованием детектора вторичных электронов);
• Наличие шлюзовой камеры, которая существенно снижает время замены образца, уменьшает загрязнение камеры образцов, электронной и ионной колонн, нивелирует риск повреждения аналитических приставок из-за резких перепадов давления, продлевает срок службы катодов и диафрагм в несколько раз;
• Возможность напыления образцов углеродом, вольфрамом и платиной;
• Возможность работы с образцами, уже установленными на держатели растровых и просвечивающих электронных микроскопов без риска их повреждения при монтаже-демонтаже;
• Наличие программного обеспечения для проведения ионной литографии;
• Использование криогенной приставки (опция) существенно уменьшает тепловые повреждения чувствительных к действию ионного пучка материалов, а также позволяет работать с замороженными биологическими образцами, содержащими воду;
• Использование специальных держателей дает возможность быстрого переноса образцов из JIB-4700F в просвечивающие электронные микроскопы JEOL.
