JEOL JSM 7100F

JSM-7100F – сканирующий электронный микроскоп с катодом Шоттки. Этот микроскоп является оптимальным решением для работы с наноразмерными образцами, он совмещает в себе высокую разрешающую способность необходимую для получения высокого разрешения при больших увеличениях при визуальном исследования образцов и высокие токовые характеристики электронного пучка (ток пучка до 200 нА). Благодаря уникальной конструкции электронно-оптической колонны достигается высокая стабильность пучка во времени, что очень важно при использовании методов энергодисперсионного анализа, волнодисперсионного анализа, дифракции обратно рассеянных электронов, катодолюминисценции

В электронно-оптической колонне микроскопа JEOL JSM 7100F реализована In-lens схема расположения катода, что позволяет с высокой эффективностью отбирать электроны эмитируемые с катода и поддерживать высокий ток пучка, и линзы с оптимальным углом апертуры для формирования тонкого зонда, даже при высоких токах

Микроскоп в базовой конфигурации оснащается высокоэффективным детектором вторичных электронов и детектором обратно отраженных электронов и системой Gentle Beam (GB) которая позволяет улучшить разрешение при низких ускоряющих напряжениях. В конфигурации JSM7500TTL помимо вышеперечисленных детекторов устанавливаются 2 Through the Lens (TTL) детектора. Они располагаются непосредственно внутри колонны и их использование позволяет улучшить разрешение.

Микроскоп JEOL JSM7100F позволяет исследовать непроводящие образцы методом ЭДС и ДОРЭ при высоких ускоряющих напряжениях в режиме низкого вакуума. Давление в камере может регулироваться в пределах от 10 до 300 Па.

Благодаря используемой в данном микроскопе электронно-оптической колонне, которая позволяет работать с пучком малого диаметра и большим током, возможно построение карт распределения элементов при малых ускоряющих напряжениях, что обеспечивает получение результат с очень большой локальностью.