РЭМ с термополевым катодом JSM-7900F

Флагманская модель РЭМ с термополевым катодом JSM-7900F позволяет получать изображения с высоким разрешением как проводящих, так и непроводящих образцов, благодаря улучшенному режиму торможения луча Gentle Beam (GBSH). Кроме того, максимальный ток электронного пучка в пушке с катодом Шоттки конструкции «In-lens» достигает 500 нА, что позволяет проводить исследования тонкой структуры рентгеновских спектров образца и получать интенсивные спектры катодолюминесценции.

Более высокая яркость достигается за счет оптимального сочетания электронной пушки конструкции “in-lens” и линз конденсора с низкой аберрацией. Ток зонда от нескольких пикоампер до нескольких десятков нА достижим даже при низком ускоряющем напряжении, за счет эффективного сбора электронов, генерируемых пушкой, что позволяет получать как высокое разрешение, так и картины дифракции отраженных электронов на наноуровне, выполнять высокоскоростное картирование, не меняя при этом диафрагму объективной линзы.

JSM-7900F позаимствовал у своего предшественника, JSM-7800F PRIME, улучшенный режим подачи напряжения смещения на образец, Gentle Beam (GBSH), который позволяет работать с более высокими напряжениями смещения (до -5кВ), обеспечивая получение изображения со сверхвысоким разрешением и прекрасным соотношением сигнал-шум даже при низких энергиях падающих на образец электронов. Также он дает возможность выбрать оптимальное ускоряющее напряжение для работы с различными типами образцов для изучения их морфологии и проведения элементного анализа на наноуровне.

Конструкция JSM-7900F предусматривает 4 вида детекторов, в том числе верхнего детектора электронов (UED), верхнего детектора вторичных электронов (USD), детектора обратно-рассеянных электронов (BED), и нижнего детектора электронов (LED).

Для UED, детектора вторичных и обратно-рассеянных электронов, режим работы может быть изменен, в зависимости от напряжения на энергетическом фильтре, что позволяет выбрать ту или иную энергию электронов для получения изображений с определенным контрастом. USD фиксирует низкоэнергетические электроны, которые были отклонены сеткой фильтра. С помощью детектора BED можно наблюдать эффект каналирования, фиксируя отраженные электроны, вылетающие из образца под высокими или низкими углами. Детектор LED позволяет получать 3D-изображения, в том числе - информацию о шероховатости поверхности.