- На главную ->
- Приборы ->
- Микроскопы снятые с производства ->
- JEOL JIB 4510
- JIB-4510
- Технические характеристики
- Фотогалерея
JEOL JIB-4510
JIB-4510 – это двухлучевая система, представляющая собой многофункциональный растровый электронный микроскоп, оснащенный мощной ионной пушкой. Прибор может одновременно быть использован и в режиме РЭМ, и в режиме ионного микроскопа или системы ионного травления.
Электронно-оптическая колонна JIB-4510 создана по классической, отработанной годами, высоконадежной схеме. Источником электронов является катод из вольфрама или гексаборида лантана. В зависимости от задач заказчик может сам выбрать, с каким источником электронов целесообразнее работать в данный момент, и легко может перейти с вольфрамового катода на гексаборид-лантановый или наоборот. Все катоды предварительно отцентрированы на заводе, и их замена занимает считанные минуты. Конденсорная линза приборов данной серии позволяет плавно менять ток пучка, не меняя при этом положения фокуса. Отклоняющие катушки (дефлекторы) рассчитаны на большие углы отклонения электронного пучка, что делает удобной работу с большими образцами. Диафрагма объективной линзы легко заменяется и центрируется силами оператора, что значительно ускоряет и удешевляет сервисное обслуживание прибора.
Ионная колонна JIB-4510 сконструирована компанией JEOL специально для систем такого класса. Она отличается высокой надежностью, обеспечивает высокое разрешение изображений при работе в режиме наблюдения и высокие токи пучка при работе в режиме травления.
Помимо всех типов исследований, традиционно проводимых с помощью РЭМ, JIB-4510 позволяет обрабатывать ионами и утонять образцы, предназначенные для дальнейших исследований методами растровой и просвечивающей электронной микроскопии, проверять их качество. После проверки и/или обработки образцов в JIB-4510, их можно переносить в ПЭМ или РЭМ напрямую, не демонтируя с держателей, а значит, не подвергая риску повреждений.
Вакуумная система JIB-4510 полностью автоматизирована и прекрасно защищена от различных нештатных ситуаций (аварийное отключение электропитания, ошибочные действия оператора и т.п.). Форвакуумная часть оснащена двумя ротационными насосами, один из которых обеспечивает заданное давление в камере образцов при работе в низковакуумном режиме, а второй – работу высоковаккумной части прибора. Такое конструктивное решение оберегает турбомолекулярный насос, электронную и ионную колонны от падения уровня вакуума и продлевает срок их службы. Также JIB-4510 комплектуются шлюзовой камерой, которая существенно снижает время замены образца, уменьшает загрязнение камеры образцов, нивелирует риск повреждения аналитических приставок из-за резких перепадов давления, существенно продлевает срок службы катодов и диафрагм.
Двухлучевую систему JIB-4510 можно дооснастить множеством разнообразных приставок. Они позволяют проводить напыление углеродом, вольфрамом и платиной, проводить ионное травление по заданному шаблону (ионную литографию), работать с держателями электронных микроскопов и микроанализаторов, даже старых моделей. Подключение таких опций, как энергодисперсионный спектрометр и детектор дифракции отраженных электронов, позволяет проводить послойный анализ элементного и фазового состава образцов.
Использование наноманипуляторов Omniprobe дает возможность проводить следующие операции в вакуумированной камере образцов прибора:
• Перемещать образцы с точностью до нескольких нанометров;
• Выкладывать из наночастиц и нановолокон узоры заданной формы;
• Измерять электрические параметры различных нанообъектов;
• Рассматривать с различных ракурсов тонкие кристаллы, приготовленные для дальнейших исследований в ПЭМ;
• Снимать заряд с непроводящих образцов;
• Производить микроразрезы в биологических образцах;
• Отделять малые образцы от массива для проведения более точного микроанализа их элементного и фазового состава.
Основные преимущества:
• Надежная электронно-оптическая колонна, использующая конденсорную линзу, которая позволяет плавно менять ток пучка, не меняя при этом положения фокуса;• Стабильная, надежная, высокопроизводительная ионная колонна специальной конструкции, позволяющая быстро стравливать большие объемы материала, а в режиме наблюдения обеспечивающая высокое разрешение получаемых изображений (5 нм при использовании ионной пушки и детектора вторичных электронов);
• Разрешение в режиме РЭМ составляет 2,5 нм при 30 кВ в режиме высокого вакуума и 4 нм при 30 кВ в низковакуумном режиме работы;
• Возможность выбора оператором катода, в зависимости от решаемых в данный момент задач: дешевый вольфрамовый для рутинной работы или LaB6 для тонких исследований. Катоды взаимозаменяемы, предварительно отцентрированы на заводе, и их замена занимает считанные минуты;
• Полностью автоматизированная и хорошо защищенная от различных нештатных ситуаций вакуумная система;
• Возможность работать с газящими или непроводящими образцами в режиме контролируемого пониженного вакуума;
• Наличие шлюзовой камеры, которая существенно снижает время замены образца, уменьшает загрязнение камеры образцов, электронной и ионной колонн, нивелирует риск повреждения аналитических приставок из-за резких перепадов давления, существенно продлевает срок службы катодов и диафрагм;
• Возможность напыления образцов углеродом, вольфрамом и платиной;
• Возможность работы с образцами, уже установленными на держатели растровых и просвечивающих электронных микроскопов без риска повреждения тонких объектов при монтаже-демонтаже;
• Наличие в программном обеспечении опционального модуля для проведения ионной литографии.
