• JEOL JSM 6510LV
  • Технические характеристики
  • Фотогалерея

JEOL JSM 6510LV сканирующий электронный микроскоп

JSM-6510LV – одна из самых распространенных серий сканирующих электронных микроскопов. Эти приборы надежны, производительны и недороги. Они позволяют проводить исследования образцов практически любых типов, в широких диапазонах ускоряющих напряжений и токов пучка, в режиме высокого или низкого вакуума. Камера образцов JSM-6510LV обладает солидным количеством портов и позволяет дооснастить РЭМ множеством разнообразных приставок (спектрометрами с дисперсией по энергиям и по длинам волн, системой дифракции отраженных электронов, системой катодолюминесценции, рамановским спектрометром) для решения широкого класса исследовательских задач.

 

Вакуумная система JSM-6510LV полностью автоматизирована и прекрасно защищена от различных нештатных ситуаций (аварийное отключение электропитания, ошибочные действия оператора и т.п.). Заказчику предоставляется выбор между дешевым и долговечным диффузионным насосом либо безмасляным турбомолекулярным. Форвакуумная часть системы оснащена двумя ротационными насосами, один из которых обеспечивает заданное давление в камере образцов при работе РЭМ в низковакуумном режиме, а второй – работу высоковаккумной части прибора. Такое конструктивное решение оберегает турбомолекулярный или диффузионный насос и электронно-оптическую колонну от возможного падения уровня вакуума и продлевает срок их службы. Также приборы серии JSM-6510LV комплектуются шлюзовой камерой (опция), что существенно снижает время замены образца, уменьшает загрязнение камеры образцов, нивелирует риск повреждения аналитических приставок из-за резких перепадов давления, продлевает срок службы катода и диафрагмы объективной линзы в несколько раз.

 

Электронно-оптическая колонна растровых электронных микроскопов серии JSM-6510LV создана по классической, отработанной годами, схеме. Источником электронов является катод из вольфрама или гексаборида лантана. В зависимости от задач, заказчик может сам выбрать, с каким источником электронов целесообразнее работать в данный момент, и легко может перейти с вольфрамового катода на гексаборид-лантановый или наоборот. Все катоды, используемые в РЭМ JSM-6510LV, предварительно отцентрированы на заводе, и их замена занимает считанные минуты. Конденсорная линза микроскопов данной серии позволяет плавно менять ток пучка, не меняя при этом положения фокуса. Отклоняющие катушки (дефлекторы) рассчитаны на большие углы отклонения электронного пучка, что делает удобной работу с большими образцами, с которыми довольно часто сталкиваются операторы центральных заводских лабораторий. Диафрагма объективной линзы легко заменяется и центрируется силами оператора, что значительно ускоряет и удешевляет сервисное обслуживание прибора. Суперконическая линза растровых электронных микроскопов серии JSM-6510LV изготовлена с малым углом раствора (60°) и позволяет наклонять столик образцов на большие углы, сохраняя при этом небольшой рабочий отрезок. Это делает возможным получение картин дифракции отраженных электронов от образцов больших размеров, которые не помещаются на стандартный наклонный держатель.

 

Основные преимущества:

• Надежная электронно-оптическая колонна JSM-6510LV, использующая конденсорную линзу специальной конструкции, позволяет плавно менять ток пучка, не меняя при этом положения фокуса;
• Возможность выбора оператором катода в зависимости от решаемых в данный момент задач: дешевый вольфрамовый для рутинной работы или LaB6 для тонких исследований;
• Катоды предварительно отцентрированы на заводе; их замена занимает считанные минуты;
• Возможность выбора между дешевым и долговечным диффузионным насосом либо безмасляным турбомолекулярным;
• Полностью автоматизированная и хорошо защищенная от различных нештатных ситуаций вакуумная система с двумя форвакуумными насосами;
• Простой и интуитивно понятный пользовательский интерфейс под ОС Windows с хорошо развитой системой подсказок и обучающих пособий;
• Программа Smile View для быстрого создания отчетов;
• Использование шлюзовой камеры снижает время замены образца, уменьшает загрязнение камеры образцов, нивелирует риск повреждения аналитических приставок из-за резких перепадов давления, продлевает срок службы катода и диафрагмы объективной линзы в несколько раз;
• Большая камера образцов позволяет работать с объектами диаметром до 150 мм, а также устанавливать множество разнообразных аналитических приставок (энергодисперсионный спектрометр, спектрометр с дисперсией по длинам волн, детектор дифракции отраженных электронов, детектор катодолюминесценции, рамановский спектрометр и т.п.)