- На главную ->
- Приборы ->
- Микроанализ ->
- Спектрометр мягкого рентгеновского излучения
- SXES
- Технические характеристики
- Фотогалерея
Спектрометр мягкого рентгеновского излучения
Спектрометр мягкого рентгеновского излучения (Soft X-Ray Emission Spectrometer, сокращенно - SXES) был разработан профессором Масами Тераучи в совместной лаборатории компании JEOL и Института междисциплинарных исследований новых материалов Университета Тохоку. SXES - это спектрометр высокого разрешения, состоящий из дифракционной решетки и высокочувствительной рентгеновской ПЗС-камеры. Он уникален тем, что сочетает в себе скорость и удобство параллельного набора спектра (как у энергодисперсионного спектрометра) с высочайшим разрешением по энергиям (0,3 эВ по L-линии металлического алюминия), превосходящим разрешение спектрометра с волновой дисперсией. Этот прибор – один из немногих спектрометров, позволяющих детектировать литий. Его можно установить на любой электронно-зондовый микроанализатор JEOL 8-го поколения или на растровые микроскопы JSM-7800F, JSM-7800F PRIME, JSM-7200F, JSM-7100F.
Таблица для сравнения характеристик ЭДС, ВДС и SXES.
| SXES | ВДС | ЭДС | |
| Разрешение | 0,3 эВ (Al L) | 8 эВ (ПШПВ Fe Kα) | 125 эВ (ПШПВ Mn Kα) |
| Анализ химического состояния | Возможен | Возможен | Невозможен |
| Параллельный набор данных | Возможно | Невозможно | Возможно |
| Диспергирующий элемент | Дифракционная решетка | Кристалл | Кремниевый детектор |
| Детектор | ПЗС-матрица | Пропорциональный счетчик | Кремниевый детектор |
| Система охлаждения | Элемент Пельтье | - | Элемент Пельтье |
| Чувствительность по бору | 20 м.д. | 100 м.д. | 0,1% |
Основные преимущества спектрометра мягкого рентгеновского излучения SXES:
- Высокое энергетическое разрешение (0,3 эВ по L-линии металлического алюминия);
- Возможность детектировать литий;
- Возможность исследовать химическое состояние вещества и проводить фазовое картирование;
- Высокая чувствительность по легким элементам (на уровне 20 м.д. по бору и 100 м.д. – по углероду);
- Высокая точность и надежность из-за отсутствия движущихся механических частей;
- Встраиваемость в систему микроанализа прибора;
- Возможность проведения анализа при малых ускоряющих напряжениях, с высоким пространственным разрешением.
