Применение

За 70 лет своего существования электронная микроскопия стала одним из самых распространенных стандартизованных методов исследований морфологии и состава различных материалов.

В настоящее время просвечивающие и растровые электронные микроскопы широко используются в различных отраслях науки и производства. Они позволяют:

  • Изучать морфологию металлических шлифов, сколов, сломов, элекропроводных и неэлекропроводных порошков, слоистых гетероструктур, тонких пленок и защитных покрытий, полупроводниковых микроэлектронных устройств, природных и искусственных минералов, различных строительных материалов, керамик, биологических объектов и т.п.;
  • Качественно и количественно определять элементный состав вышеперечисленных материалов;
  • Определять кристаллическую микроструктуру (а, следовательно, и фазовый состав) различных образцов;
  • Анализировать механические напряжения в сталях и сплавах по картам ориентации кристаллитов;
  • Методом электронно-лучевой литографии создавать прототипы новых микроэлектронных устройств;
  • Проводить реверсивный инжениринг изделий микроэлектроники;
  • С помощью встраиваемых сфокусированных ионных пушек и наноманипуляторов создавать и тестировать микроэлектромеханические системы (MEMS) различного назначения;
  • С помощью криогенных и нагревательных столиков образцов проводить температурные исследования структуры и состава различных образцов;
  • С помощью столиков для механических испытаний образцов анализировать изменения микроструктуры и образование дефектов в сталях и сплавах в зависимости от прилагаемых нагрузок;
  • Анализировать радиационную устойчивость различных материалов;
  • Создавать цифровые 3D-модели объектов микромира;
  • Изучать доменную структуру магнитных материалов;
  • И многое другое