Применение

За 70 лет своего существования электронная микроскопия стала одним из самых распространенных стандартизованных методов исследований морфологии и состава различных материалов.

В настоящее время просвечивающие и растровые электронные микроскопы широко используются в различных отраслях науки и производства. Они позволяют:

• Изучать морфологию металлических шлифов, сколов, сломов, элекропроводных и неэлекропроводных порошков, слоистых гетероструктур, тонких пленок и защитных покрытий, полупроводниковых микроэлектронных устройств, природных и искусственных минералов, различных строительных материалов, керамик, биологических объектов и т.п.;
• Качественно и количественно определять элементный состав вышеперечисленных материалов;
• Определять кристаллическую микроструктуру (а, следовательно, и фазовый состав) различных образцов;
• Анализировать механические напряжения в сталях и сплавах по картам ориентации кристаллитов;
• Методом электронно-лучевой литографии создавать прототипы новых микроэлектронных устройств;
• Проводить реверсивный инжениринг изделий микроэлектроники;
• С помощью встраиваемых сфокусированных ионных пушек и наноманипуляторов создавать и тестировать микроэлектромеханические системы (MEMS) различного назначения;
• С помощью криогенных и нагревательных столиков образцов проводить температурные исследования структуры и состава различных образцов;
• С помощью столиков для механических испытаний образцов анализировать изменения микроструктуры и образование дефектов в сталях и сплавах в зависимости от прилагаемых нагрузок;
• Анализировать радиационную устойчивость различных материалов;
• Создавать цифровые 3D-модели объектов микромира;
• Изучать доменную структуру магнитных материалов;
• И многое другое