Растровый электронный микроскоп JSM-IT800

Новый растровый электронный микроскоп японской компании JEOL, JSM-IT800, пришедший на замену РЭМ JSM-F100, характеризуется ещё более высоким разрешением, достигаемым благодаря специальной конструкции объективной линзы. Как и его предшественник, этот микроскоп позволяет изучать различные образцы, включая магнитные, электронепроводящие, биологические, а также чувствительные к воздействию электронного пучка. Примененная в JSM-IT800 запатентованная компанией JEOL технология производства пушки Shottky Plus позволяет достигать высокого разрешения даже при низких ускоряющих напряжениях (0,9 нм при 0,5 кВ), а также получать высокие токи пучка – до 500 нА.

Высокое значение максимального тока пучка и наличие большого количества портов в камере образцов JSM-IT800 позволяют оснащать этот РЭМ множеством различных приставок:

• энергодисперсионным спектрометром;
• спектрометром с дисперсией по длинам волн;
• детектором дифракции отраженных электронов;
• системой катодолюминесценции;
• спектрометром комбинационного рассеяния света;
• системой микро-рентгеновского флуоресцентного анализа;
• спектрометром мягкого рентгеновского излучения;
• наноманипуляторами;
• ПРЭМ-детектором;
• специальными столиками для нагрева, охлаждения или растяжения/сжатия образцов.

Гибридная коническая объективная линза JSM-IT800 является комбинацией двух линз: электромагнитной и электростатической. Ее конструкция позволяет полностью исключить воздействие магнитного поля на образец, что очень важно для исследования магнитных материалов, а также для получения картин дифракции отраженных электронов.

Энергетический фильтр и так называемая система TTL (“through-the-lens”), встроенная в электронную колонну JSM-IT800, позволяет получать изображения, используя электроны только с определенными энергиями. Это дает возможность оператору РЭМ JSM-IT800 получать массу дополнительной информации об объектах исследований.

Используемая в JSM-IT800 технология большой глубины фокуса LDF (long depth of field) позволяет проводить анализ больших площадей рельефных или наклонных образцов, не перемещая предметный столик РЭМ. Она крайне полезна при работе с детектором дифракции отраженных электронов, который требует наклона образца под углом 70°. Особенно хорошо технология LDF проявила себя при построении больших карт ориентации кристаллитов и полей остаточных напряжений.

По желанию заказчика JSM-IT800 можно укомплектовать шлюзовой камерой, которая

• минимизирует загрязнение камеры образцов и электронно-оптической колонны, а значит продлевает срок службы термополевого катода и диафрагм;
• в несколько раз уменьшает время замены образцов;
• снижает нагрузку на систему откачки микроскопа и тем самым продлевает ресурс турбомолекулярного и ионных насосов;
• сводит к нулю риск повреждения сверхтонких окон энергодисперсионного и волнодисперсионного спектрометров.

Особое внимание японские инженеры уделили удобству работы с новым РЭМ управления, оснастив его интуитивно понятной системой управления Neo Engine (New Electron Optical Engine). Это программное обеспечение берёт на себя многие функции по настройке электронно-оптической колонны растрового электронного микроскопа, сильно облегчая работу начинающих пользователей. А для опытных микроскопистов сохранена возможность ручной подстройки всех параметров РЭМ.

Также в качестве опции JEOL предлагает заказчикам программный фильтр реального времени LIVE-AI, значительно повышающий качество изображений, получаемых с быстрой развёрткой. Эта функция крайне удобна при ручной подстройке микроскопа (фокусировке, устранении астигматизма и т.п.), а также при получении изображений путём усреднения большого количества снимков с малыми временами экспозиции.