Растровый электронный микроскоп JSM-F100

Новый растровый электронный микроскоп компании JEOL, JSM-F100, пришедший на замену РЭМ JSM-7200F, способен работать практически с любыми образцами и решать практически любые задачи. Он позволяет изучать даже магнитные, электронепроводящие, биологические, а также чувствительные к воздействию электронного пучка образцы. Примененная в нем запатентованная компанией JEOL технология Shottky Plus позволяет достигать высокого разрешения при низких ускоряющих напряжениях (1,3 нм при 1 кВ), а также получать высокие токи пучка – до 300 нА.

Высокое значение максимального тока пучка и наличие большого количества портов в камере образцов JSM-F100 позволяют оснащать этот РЭМ множеством различных приставок:
• энергодисперсионным спектрометром;
• спектрометром с дисперсией по длинам волн;
• детектором дифракции отраженных электронов;
• системой катодолюминесценции;
• спектрометром комбинационного рассеяния света;
• системой микро-рентгеновского флуоресцентного анализа;
• спектрометром мягкого рентгеновского излучения;
• наноманипуляторами;
• ПРЭМ-детектором;
• специальными столиками для нагрева, охлаждения или растяжения/сжатия образцов и др.

Гибридная коническая объективная линза JSM-F100 является комбинацией электромагнитной и электростатической линз. Ее конструкция позволяет полностью исключить воздействие магнитного поля на образец, что очень важно для исследования магнитных материалов, а также для получения картин дифракции отраженных электронов.

Энергетический фильтр и так называемая система TTL (“through-the-lens”), встроенная в электронную колонну JSM-F100, позволяет получать изображения, используя электроны только с определенными энергиями. Это дает возможность оператору РЭМ JSM-F100 получать массу дополнительной информации об объектах исследований.

Используемая в JSM-F100 технология большой глубины фокуса LDF (long depth of field) позволяет проводить анализ больших площадей рельефных или наклонных образцов, не перемещая предметный столик РЭМ. Она крайне полезна при работе с детектором дифракции отраженных электронов , который требует наклона образца под углом 70°. Особенно хорошо технология LDF проявила себя при построении больших карт ориентации кристаллитов и полей остаточных напряжений.

По желанию заказчика JSM-F100 можно укомплектовать шлюзовой камерой, которая
• минимизирует загрязнение камеры образцов и электронно-оптической колонны, а значит продлевает срок службы термополевого катода и диафрагм;
• в несколько раз уменьшает время замены образцов;
• снижает нагрузку на систему откачки микроскопа и тем самым продлевает ресурс турбомолекулярного и ионных насосов;
• сводит к нулю риск повреждения сверхтонких окон энергодисперсионного и волнодисперсионного спектрометров.